Popis
Jednokryštálový kremíkový ingotis zvyčajne pestované ako veľký valcový ingot presnými dopingovými a ťahovými technológiami Czochralski CZ, Czochralski MCZ indukovaný magnetickým poľom a metódami Floating Zone FZ.CZ metóda je najpoužívanejšia na rast kremíkových kryštálov veľkých valcových ingotov s priemerom do 300 mm používaných v elektronickom priemysle na výrobu polovodičových súčiastok.Metóda MCZ je variáciou metódy CZ, v ktorej je magnetické pole vytvorené elektromagnetom, ktorým je možné dosiahnuť relatívne nízku koncentráciu kyslíka, nižšiu koncentráciu nečistôt, nižšiu dislokáciu a rovnomerné kolísanie odporu.Metóda FZ uľahčuje dosiahnutie vysokého merného odporu nad 1000 Ω-cm a vysoko čistého kryštálu s nízkym obsahom kyslíka.
Doručenie
Jednokryštálový silikónový ingot CZ, MCZ, FZ alebo FZ NTD s vodivosťou typu n alebo typu p v spoločnosti Western Minmetals (SC) Corporation možno dodať vo veľkostiach 50 mm, 75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm a 200 mm (2, 3 , 4, 6 a 8 palcov), orientácia <100>, <110>, <111> s povrchom uzemneným v balení plastového vrecka vo vnútri s kartónovou škatuľou vonku, alebo podľa prispôsobenej špecifikácie na dosiahnutie dokonalého riešenia.
.
Technická špecifikácia
Jednokryštálový silikónový ingot CZ, MCZ, FZ alebo FZ NTDs vodivosťou typu n alebo p v spoločnosti Western Minmetals (SC) Corporation možno dodať vo veľkostiach 50 mm, 75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm a 200 mm s priemerom (2, 3, 4, 6 a 8 palcov), orientácia <100 >, <110>, <111> s povrchom uzemneným v balení plastového vrecka vo vnútri s kartónovou škatuľou vonku, alebo ako prispôsobená špecifikácia na dosiahnutie dokonalého riešenia.
Nie | Položky | Štandardná špecifikácia | |
1 | Veľkosť | 2", 3", 4", 5", 6", 8", 9,5", 10", 12" | |
2 | Priemer mm | 50,8-241,3 alebo podľa potreby | |
3 | Metóda rastu | CZ, MCZ, FZ, FZ-NTD | |
4 | Typ vodivosti | P-typ / dopovaný bórom, typ N / dopovaný fosfidmi alebo nedopovaný | |
5 | Dĺžka mm | ≥180 alebo podľa potreby | |
6 | Orientácia | <100>, <110>, <111> | |
7 | Odpor Ω-cm | Podľa potreby | |
8 | Obsah uhlíka a/cm3 | ≤5E16 alebo podľa potreby | |
9 | Obsah kyslíka a/cm3 | ≤1E18 alebo podľa potreby | |
10 | Kovová kontaminácia a/cm3 | <5E10 (Cu, Cr, Fe, Ni) alebo <3E10 (Al, Ca, Na, K, Zn) | |
11 | Balenie | Vnútri plastové vrecko, vonku preglejkové puzdro alebo kartónová krabica. |
Symbol | Si |
Atómové číslo | 14 |
Atómová hmotnosť | 28.09 |
Kategória prvku | Metaloid |
Skupina, Obdobie, Blok | 14, 3, P |
Kryštálová štruktúra | diamant |
Farba | Tmavo-sivá |
Bod topenia | 1414 °C, 1687,15 K |
Bod varu | 3265 °C, 3538,15 K |
Hustota 300K | 2,329 g/cm3 |
Vnútorný odpor | 3,2E5 Ω-cm |
Číslo CAS | 7440-21-3 |
EC číslo | 231-130-8 |
Jednokryštálový kremíkový ingot, keď je úplne vyrastený a kvalifikovaný jeho odpor, obsah nečistôt, dokonalosť kryštálov, veľkosť a hmotnosť, je brúsený pomocou diamantových kotúčov, aby sa z neho stal dokonalý valec so správnym priemerom, potom prechádza procesom leptania, aby sa odstránili mechanické chyby, ktoré zanechal proces brúsenia .Potom sa valcový ingot rozreže na bloky s určitou dĺžkou a dostane zárez a primárny alebo sekundárny plochý pomocou automatizovaných systémov na manipuláciu s plátkami na zarovnanie na identifikáciu kryštalografickej orientácie a vodivosti pred následným procesom krájania plátku.
Tipy na obstarávanie
Jednokryštálový kremíkový ingot